Éclairage à décharge à gaz mixte Hg-Xe composé d'un logement de lampe avec allumage et ballast intégrés.
Avec le système d'éclairage LEJ Deep UV, vous obtiendrez un rayonnement UV extrêmement stable grâce à la faible dérive thermique et à l'alimentation en courant continu très stable de notre ballast. -
En outre, notre système permet un réglage mécanique reproductible de la lampe, du miroir et du collecteur. Ainsi, le système LEJ Deep-UV convient à l'inspection des plaquettes ou à l'éclairage pendant l'examen optique et l'analyse des masques photographiques, en particulier des structures et des largeurs de ligne pour les défauts et les imperfections.
Points forts du produit
pas de dérive thermique
réglage mécanique reproductible
Allumage haute tension intégré
Fonction de circuit de sécurité
Compteur d'heures de fonctionnement
Domaines d'application
Analyse des photomasques
Désinfection
Durcissement par UV
---