Système de préparation d'échantillons de fabrication de films minces EM ACE600

pour SEM

La coucheuse par pulvérisation EM ACE600 est un instrument polyvalent de dépôt de film sous vide poussé pour vos applications FE-SEM et TEM Que vous ayez besoin de - renforcer le contraste par une couche de métal à grain fin, - produire des films de carbone d'une épaisseur de quelques nanomètres, mais robustes, - ombragez votre échantillon par rotation pour rendre visibles les plus petits éléments, ou pour - passer à la cryogénisation, la coucheuse ACE600 offrira la solution optimale pour en voir plus, et ce à chaque fois Caractéristiques principales Que contient une coucheuse ACE600 ? L'ACE600 offre les méthodes de revêtement suivantes : pulvérisation cathodique, fil de carbone, tige de carbone et évaporation par faisceau électronique. Jusqu'à deux méthodes peuvent être utilisées en même temps dans le même instrument. En outre, l'instrument peut effectuer une décharge luminescente. Cela permet de choisir les meilleures méthodes pour les applications individuelles. Ceci est réalisé avec des sources angulaires fixées à une chambre à vide métallique et un étage rotatif pour permettre une distribution uniforme des films sur une taille d'étage supérieure à 100 mm. Grâce à cette configuration, une coucheuse normale peut être transformée en une coucheuse avec un cryo-stage pour effectuer une application de rupture par congélation et se connecter au Leica EM VCT500. Savoir ce qui se passe à l'étape finale Des paramètres stables et mesurés avec précision sont la clé d'une performance reproductible. Le processus de revêtement entièrement automatisé garantit que les conditions sont les mêmes pour chaque cycle. De plus, le fonctionnement de l'instrument est simple. Une solution spéciale de vannes assure une pression d'argon précise et stable pendant le revêtement par pulvérisation cathodique, ainsi qu'une mesure de l'épaisseur des cristaux de quartz au milieu de l'étape, ce qui permet un contrôle total du résultat.