Développé spécifiquement pour les systèmes à microprocesseur, le PRIMES MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) élargit la famille de produits des systèmes d'analyse de la mise au point basés sur des caméras par un système de mesure compact et modulaire.
Optimisé pour les usines de microprocesseurs
Le MicroSpotMonitor-Compact (MSM-C) a été optimisé spécifiquement pour les espaces d'installation restreints dans les systèmes de microprocesseurs. Les dimensions du boîtier de la caméra avec l'électronique, l'atténuation et l'absorbeur de puissance sont d'environ 230 x 120 x 60 millimètres (L x L x H). Le dispositif compact n'a pas d'axes de mouvement propres.
Le faisceau laser est élargi au moyen d'une optique de mesure, atténué par deux séparateurs de faisceau et imagé sur un capteur CCD par l'intermédiaire d'un miroir de renvoi. Si nécessaire, un filtre supplémentaire peut être installé devant le capteur. La géométrie du faisceau et la distribution de la densité de puissance sont mesurées par le capteur CCD. Les données de mesure sont transmises par Ethernet à un PC et évaluées avec le logiciel PRIMES LaserDiagnose. En option, les données peuvent être déterminées en interne par l'appareil et transférées via une interface PROFIBUS au contrôleur de l'usine.
Les distributions de densité de puissance (d'un seul plan de coupe), les dimensions du faisceau et l'orientation du faisceau dans le plan de mesure sont mesurées. En fonction de la résolution locale choisie, des mesures répétées peuvent être effectuées avec un taux de répétition allant jusqu'à un Hertz.
En liaison avec un axe z externe :
- Dimensions du foyer
- Position du foyer dans l'espace
- Indice de diffraction M2 (facteur de propagation du faisceau k, produit des paramètres du faisceau)
- Longueur de Rayleigh
- Divergence du champ lointain
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