Typiquement utilisé pour des applications ascendantes de commande de pression en même temps que des contrôleurs d'écoulement de la masse.
Ces valves utilisent micromètre-placent la troisième position dont la valve peut être à distance enclenchée à un certain degré de la position d'ouverture. Le corps et tous composants internes importants sont four de vide soudé à 1100°C, à 10-6 torr, assurant l'intégrité commune maximum. Ceci élimine la possibilité « de fuites virtuelles » ou de secteurs d'occlusion tandis que la déformation de minimisation de corps trouvait dans des valves par convention soudées. Pour des entretiens, le chariot peut être enlevé du corps sans enlever la valve du système.
Dispositifs
Acier inoxydable d'Electropolished
Une des plus petites superficies intérieures dans l'industrie de valve de vide
L'au loin-valve fermée par positif maintiendra sa position de fermeture en cas d'une perte de puissance suivie d'une chute de pression de pression
La conception unique de cylindre d'air sans les serrures mécaniques à l'intérieur du vide ramène le choc et la vibration à un minimum
Idéal pour le semi-conducteur et d'autres processus sensibles
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