Avec une tendance émergente dans la fixation de matrices et de substrats plus minces, le iStack™ W+ offre une solution pour la fixation de matrices de niveau wafer.
Caractéristiques et options
Kit haute précision (5 μm)
Fonctions de mappage (Substrat / Gaufrette)
Kit d'élimination de la contamination des wafers / substrats
Kit OHT / AGV
UV (In-Situ / Post-Bond)
Kit de contrôle de la contamination de l'outil
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