Four à chambre CLH series

de cuissonde vieillissementde recuit

Un filtre haute performance résistant à la chaleur et notre unité de refroidissement unique permettent une cuisson à haute température dans un environnement propre (max. 530°C (max. 500°C pour le modèle V)). Le système de circulation d'air chaud permet une excellente uniformité de la température et une propreté de l'air de classe 100 (lorsque la température est stable). Ce type de four est optimal pour la cuisson des plaquettes de semi-conducteurs et des substrats en verre, ainsi que pour le vieillissement et d'autres traitements thermiques qui nécessitent une température élevée et une grande précision. Les traitements thermiques à des concentrations d'O2 résiduel de 20 ppm ou moins sont possibles en introduisant de l'azote (N2) gazeux dans la chambre. Caractéristiques Un filtre haute performance résistant à la chaleur et notre unité de refroidissement unique sont installés pour permettre la cuisson à haute température. L'intérieur de la chambre peut maintenir une propreté de classe 100 lorsque la température est stable. Il existe deux types de ventilateurs à air chaud : un ventilateur frontal à circulation horizontale (type V) et un ventilateur latéral (type III). Tous deux permettent un rendement thermique élevé et une bonne uniformité de la température. Optimal pour la cuisson, le vieillissement et les autres traitements thermiques des plaquettes de semi-conducteurs et des substrats en verre qui nécessitent une grande précision. Des gaz inertes peuvent être introduits dans les chambres pour utiliser les fours comme fours à gaz inerte.