Four à chambre CCBS-IR

de recuitde cuissonà infrarouges

Les séries CCBS-IR sont des fours de nettoyage à transfert de substrat unique qui utilisent un système de chauffage IR. Ils peuvent effectuer une variété de traitements thermiques pour les cristaux liquides (LCD) et les diodes électroluminescentes organiques (OLED) de grande taille jusqu'à la 10e génération. Un modèle de démonstration qui traite l'IGZO et le LTPS (polysilicium à basse température) à 500°C est également disponible. Caractéristiques Facteur de propreté élevé Efficacité de chauffage élevée Excellente uniformité de température Possibilité de contrôle de l'atmosphère Facteur de propreté élevé La structure propre qui ne génère pas de poussière, associée au contrôle précis de l'atmosphère du four (brevet acquis), offre un haut niveau de performance propre. Ces fours sont également capables de traiter des substrats en réseau qui nécessitent un environnement propre strict. Haute efficacité de chauffage Un système de chauffage à infrarouge lointain (IR) d'une efficacité de chauffage supérieure est utilisé, et est capable de traiter avec une grande efficacité toutes les épaisseurs de film. Il est idéal pour le traitement de films épais tels que les couches d'alignement et les films de passivation. Excellente uniformité de température Les panneaux chauffants IR adoptés offrent une excellente uniformité de température. Ils sont capables de chauffer uniformément même les substrats de grande taille tels que la 10e génération. Possibilité de contrôle de l'atmosphère De l'azote gazeux peut être injecté dans le four pour effectuer le traitement thermique à de faibles concentrations d'oxygène.