Four à chambre RLA-4106-V

de recuitsous vide

La capacité de verrouillage de la charge sous vide améliore le débit. Prend en charge différentes plaquettes, notamment Si, GaN et SiC. Caractéristiques Le sas sous vide est équipé en standard sur la chambre et l'unité de transport, pour un débit élevé. Comprend une fonction de transfert automatique des suscepteurs pour les plaquettes SiC et GaN. Des lampes halogènes sont installées dans une croix supérieure et inférieure. la commande à 6 zones permet de contrôler facilement le rapport de puissance pour chaque zone. La mesure sans contact de la température de la pièce est effectuée à l'aide de thermomètres radiatifs, et un contrôle par rétroaction est possible. Il s'agit d'un équipement de production qui utilise plusieurs lampes halogènes disposées dans une croix supérieure et inférieure comme source de chaleur, et qui est destiné au recuit rapide et de haute précision de plaquettes. L'utilisation d'une plate-forme de transport sous vide nouvellement développée permet le transport et le traitement des pièces dans une atmosphère à très faible teneur en oxygène.