Four à chambre VF-5300H

de recuitde nitrurationde nettoyage

Un four vertical permettant un traitement à haute température, idéal pour la fabrication de dispositifs de puissance. Il prend en charge l'oxynitruration et les plaquettes d'une taille maximale de 8 pouces. Il est doté d'un mécanisme de transfert automatique des plaquettes et peut être utilisé pour la production de masse. Caractéristiques Supporte max. 75 plaquettes (200mm / 8-inch) ou max. 100 wafers (150mm / 6-inch), et utilisation sur des lignes de production de masse. Prend en charge une large gamme de tailles de plaquettes jusqu'à 8 pouces. Permet de surveiller la température à proximité des plaquettes. L'intérieur du four présente notre construction exclusive sans métal. Supporte le traitement en série de différents processus d'oxydation/oxynitruration (oxydation humide/sec, recuit H2, nitruration NH3, oxynitruration NO/N2O). Mécanisme de nettoyage de la chambre (option) Le VF-5300H est un four vertical qui peut traiter un maximum de 100 plaquettes par lot, et une large gamme de tailles de plaquettes allant de 3 à 8 pouces. Les caractéristiques du matériel et du système de commande, soigneusement sélectionnées, permettent une utilisation sur des lignes de production de masse. L'intérieur du four est doté de notre propre construction sans métal. Le VF-5300H permet un traitement à haute température, ce qui le rend idéal pour la fabrication de dispositifs de puissance. Il peut également effectuer l'oxynitruration.