- Machines et Équipements Industriels
- Four et Traitement Thermique
- Four à chambre
- Koyo Thermos Systems
- Produits
- Catalogues
- News & Trends
- Salons
Four à chambre VF-3000Hde recuitde nitrurationhaute température
Ajouter à mes favoris
Ajouter au comparateur
Caractéristiques
- Configuration
- à chambre
- Fonction
- de recuit, de nitruration
- Autres caractéristiques
- haute température, vertical
- Température max.
Min: 700 °C
(1 292 °F)Max: 1 400 °C
(2 552 °F)
Description
Un four vertical permettant un traitement à haute température, idéal pour la fabrication de dispositifs de puissance. Supporte l'oxynitruration et les plaquettes jusqu'à 8 pouces. Doté d'un mécanisme de transfert automatique des plaquettes, il peut être utilisé pour des applications allant de la R&D à la production de masse.
Caractéristiques
Prise en charge de lots allant de mini-lots à 50 plaquettes, et d'applications allant de la R&D à l'utilisation sur des lignes de production de masse.
Prise en charge d'une large gamme de tailles de plaquettes jusqu'à 8 pouces.
Permet la surveillance de la température à proximité des wafers.
L'intérieur du four se caractérise par notre construction exclusive sans métal.
Supporte le traitement en série de différents procédés d'oxydation/oxynitruration (oxydation humide/sèche, recuit H2, nitruration NH3, oxynitruration NO/N2O).
Mécanisme de nettoyage de la chambre (option)
---
Autres produits Koyo Thermos Systems
Semiconducteur equipment
Recherches associées
- Étuve à chambre
- Étuve de traitement thermique
- Étuve de séchage
- Étuve de laboratoire
- Four à combustion
- Étuve à gaz
- Étuve tunnel
- Étuve de cuisson
- Étuve haute température
- Four sous atmosphère contrôlée
- Étuve automatique
- Étuve sous vide
- Four continu
- Étuve de recuit
- Étuve programmable
- Étuve avec circulation d'air
- Étuve thermique
- Étuve horizontale
- Four de frittage
- Étuve de trempe
* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.