Four à chambre CLH Series

de cuissonde vieillissementde recuit

La cuisson à haute température dans un environnement propre est rendue possible grâce au filtre haute performance résistant à la chaleur et à l'unité de refroidissement unique. Un système de circulation d'air chaud est utilisé pour la cuisson et le vieillissement des wafers et des substrats en verre, le durcissement et le recuit des polyimides avec une grande précision. Caractéristiques Un filtre haute performance résistant à la chaleur et notre unité de refroidissement unique sont installés pour permettre une cuisson à haute température. L'intérieur de la chambre peut maintenir la classe de propreté 100 lorsque la température est stable. Il existe 2 types de soufflantes à air chaud : la soufflante frontale à circulation horizontale (type V) et la soufflante latérale (type III). Tous deux atteignent un rendement thermique élevé et une bonne uniformité de température. Ce type de four est optimal pour la cuisson des plaquettes semi-conductrices et des substrats de verre, le vieillissement et autres traitements thermiques nécessitant une grande précision. Des gaz inertes peuvent être introduits dans les chambres pour utiliser les fours comme fours à gaz inerte.