Four de type armoire VF-3000H

de recuitélectriquesous atmosphère contrôlée

Un four vertical permettant un traitement à ultra-haute température, idéal pour la fabrication de dispositifs de puissance. Il prend en charge les plaquettes de 3 à 6 pouces et dispose d'un mécanisme de transfert automatique des plaquettes. Peut être utilisé pour des applications allant de la R&D à la production de masse. Caractéristiques Prend en charge des lots allant de mini-lots à 50 plaquettes, et des applications allant de la R&D à la production de masse. Prend en charge une large gamme de tailles de plaquettes allant de 3 à 6 pouces. L'intérieur du four est doté de notre propre construction sans métal. Permet de surveiller la température à proximité des plaquettes. Un verrou de charge N2 est fourni en standard. Transport de cassette à cassette à haut débit Le recuit sous atmosphère H2 avec arrondissement des tranchées est disponible en option. Le VF-3000H est un four vertical qui peut traiter des lots allant de mini-lots à 50 plaquettes, et une large gamme de tailles de plaquettes de 3 à 8 pouces. Les caractéristiques du matériel et du système de contrôle soigneusement sélectionnées permettent des applications allant de la R&D à l'utilisation sur des lignes de production de masse. L'intérieur du four est doté de notre propre construction sans métal. Le VF-3000H permet un traitement à haute température, ce qui le rend idéal pour la fabrication de dispositifs de puissance. Il peut également effectuer l'oxynitruration.