Four de type armoire VF-5700

de traitement thermiqued'oxydationélectrique

Ce système de traitement thermique effectue l'oxydation, la diffusion et le CVD de plaquettes de silicium, d'IGBT, de polyimide et de plaquettes minces. Comme sa hauteur est inférieure à 3000 mm, ce modèle peut être facilement introduit. Il se caractérise par un temps de cycle court et un débit élevé. Caractéristiques Mini-lot, traitement par lot flexible de 25 à 50 plaquettes Rendement élevé grâce à un chauffage haute puissance avec un temps de chauffage rapide Équipé d'un système de contrôle haute performance convivial pour l'opérateur Taille compacte sans magasin Ce four de diffusion vertical à haut rendement et à temps de cycle court traite des plaquettes de 300 mm (12 pouces) par mini-lots de 25 à 50 plaquettes chacun. Comme l'espace de stockage est éliminé, sa hauteur est inférieure à 3000 mm, ce qui facilite son introduction. Il existe de nombreux cas où les fours sont introduits sans stockeur, ce qui vous permet de réduire les coûts liés au stockage. Grâce à l'élément chauffant LGO, le four présente des caractéristiques de température supérieures sur une large gamme de températures allant de basses à moyennes. Il convient au traitement thermique des IGBT, du polyimide, des plaquettes minces et d'autres matériaux en plus des plaquettes de silicium.