-Pompe PT électrique
Permet un contrôle numérique de l'ajustement fin du volume de distribution et des réglages du débit
et des réglages de débit.
-Pompe pneumatique
Le type de pompe à tubephragme actionnée par un cylindre d'air est maintenant disponible.
Caractéristiques
La configuration de la pompe PT (Parallel Tubephragm) combine le tube à section en 8 unique de Koganei avec un soufflet.
- Il n'y a pas de partie coulissante, de sorte que la génération de particules due au fonctionnement de la pompe est pratiquement inexistante.
- Il n'y a pas de partie coulissante, de sorte que la génération de particules due au fonctionnement de la pompe est pratiquement inexistante.
- La structure ne laisse passer que très peu de résidus chimiques liquides, ce qui empêche la gélification du matériau photorésistant.
- La structure ne permet pas l'entrée d'air extérieur, la cristallisation des électrolytes se produit rarement.
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