■Gaz applicable:N₂, air, H₂, He, Ar, O₂, CO₂, etc.
■Plage de débit:1SCCM~20SLM
■Précision:±1%F.S.
Joints métalliques.
Contrôle de débits infimes disponible à partir de F.S.1SCCM par conversion N₂.
Volume mort réduit grâce au clapet à siège à membrane.
Applications
・Échantillonnage d'air
・Analyseur de composants
・Bioréacteur
・Processus biotechnologique
・Contrôle du feu
・Fabrication de CCFL
・Contrôle de la pression de la chambre
・Processus chimique
・Surveillance de l'environnement
・Fabrication de dispositifs électroniques
・Production alimentaire
・Tests de piles à combustible
・Processus de fermentation
・Mélange de gaz
・Distribution de gaz
・Monitorage du débit de gaz
・Génération de gaz
・Fourneau industriel
・Test de fuites
・Processus pharmaceutique
・Surveillance de la pollution
・Contrôle du flux du processus
・R&D
・Fabrication d'éléments de puissance solaire
・Secondaire référence de calibration
・Semiconductor process
・Traitement de surface
・Pulvérisation thermique à la flamme
・Fabrication de films minces
・Dépôt en phase vapeur
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