Système de mesure d'arête de wafer WATOM 200/300mm

optiqueà laserautomatisé

Profileur de bords de plaquettes automatisé WATOM 200/300mm Mesure du bord de la plaquette de silicium - précision absolue L'utilisation de modèles de plus en plus petits dans l'industrie des semi-conducteurs exige des matériaux de plus en plus avancés et d'une qualité extrêmement élevée. En réponse à l'amélioration constante de la qualité des wafers, KoCoS Optical Measurement a développé WATOM, un outil de mesure de bord de wafer et de profil d'encoche qui annonce une nouvelle ère de mesure extrêmement précise de la géométrie des wafers. La méthode de mesure brevetée de WATOM LS utilise un capteur de détection de la lumière pour mesurer le profil du bord de la plaquette avec une précision extrême, y compris le profil à l'intérieur de l'encoche. Une caméra CMOS prend des photos de la ligne laser produite par le profil du bord. Un algorithme mathématique développé par KoCoS est ensuite utilisé pour déterminer les caractéristiques du profil du bord. La conception modulaire de WATOM est prête à être combinée avec diverses solutions d'automatisation pour les processus modernes de fabrication de semi-conducteurs, que les plaquettes soient chargées manuellement ou qu'un système automatisé de manutention des matériaux (AMHS) soit en place.