- Mouvement ultra-dynamique
- Précision de positionnement imbattable
- Grande rigidité du système
- Faibles émissions de particules
Le système de moteur linéaire à grande vitesse a été conçu pour être utilisé comme axe d'alimentation dans une machine de fabrication de semi-conducteurs afin d'obtenir une productivité et une fiabilité supérieures.
Outre les exigences habituelles du client, telles que la masse en mouvement, les plages de déplacement, les définitions de cycle, etc., il était nécessaire de prendre en compte des propriétés supplémentaires. Il a fallu prendre en compte d'autres propriétés, comme par exemple
- une conception extrêmement compacte
- Qualité de synchronisation imbattable (cogging)
- Pas d'entretien nécessaire
- Mise en service rapide
- Retour de position absolu
- Gestion des câbles pour les câbles personnalisés
Le système de moteur linéaire à grande vitesse a été spécialement conçu pour les applications exigeant une grande précision de positionnement. Il offre la possibilité d'utiliser une glissière personnalisée et un schéma de perçage de la plaque de base pour répondre aux exigences individuelles. En outre, le système est conçu dans une version compatible avec les salles blanches pour permettre une utilisation dans des environnements sensibles. Pour faciliter la mise en service initiale, un jeu de paramètres est fourni pour permettre une mise en service rapide et efficace.
- Manipulation des plaquettes
- Manipulation de substrats
- E-mobilité
- Technologie médicale
- Traitement des lasers
- Manipulation de lentilles optiques
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