Machine de gravure de wafers Primaxx® Monarch 3

Le système de gravure au fluorure d'hydrogène en phase vapeur (VHF) Primaxx® Monarch 3 est conçu pour effectuer une libération sélective de la gravure via un processus de gravure anhydre HF/alcool contrôlé. Le Monarch 3 est un module compact qui comprend une chambre de traitement de 3 wafers avec un chargeur semi-automatique de 3 wafers avec verrouillage de charge. Il est conçu pour les laboratoires de recherche et les environnements de production en petits volumes. Un panel PC intégré, avec électronique embarquée, minimise l'encombrement de la salle blanche et le système a été conçu pour faciliter les changements de taille de wafer et la maintenance. - Compatible avec les plaquettes de 100 mm à 200 mm - Taille de lot jusqu'à 3 plaquettes - Système autonome - L'encombrement réduit comprend la chambre de traitement, le panneau gaz/liquide et les composants de pression/vide