Machine d'inspection optique C205

pour wafer gravépour l'industrie électroniquede défauts

Le système d'inspection optique des défauts par plasma à large bande C205 permet la découverte systématique des défauts et la détection des défauts de fiabilité latents pour la fabrication de puces destinées aux marchés de l'automobile, de l'IoT, de la 5G et de l'électronique grand public. Le C205 tire parti d'une source d'éclairage large bande accordable, d'une optique avancée et d'un capteur à faible bruit pour capturer les défauts systématiques, ce qui permet d'accélérer la caractérisation et l'optimisation de nouveaux processus, nœuds de conception et dispositifs au cours de la recherche et du développement. La technologie NanoPoint™ concentre l'inspection sur les zones de motifs à haut risque de défaillance de fiabilité, fournissant des données de défauts exploitables qui aident à réduire la surcharge des matrices. En production, le C205 surveille les couches critiques nécessitant une grande sensibilité, aidant les usines à éviter les excursions de défauts qui affectent la qualité finale des puces. Le C205 est une plate-forme extensible et configurable qui prend en charge les plaquettes de 200 mm et de 300 mm. Découverte des défauts, découverte des points chauds, débogage des processus, analyse technique, surveillance des lignes, découverte des fenêtres de processus