Profilomètre optique Zeta™-388

3Davec interférométrie en lumière blanchepour mesure de rugosité

Le profileur sans contact Zeta™-388 offre une capacité de métrologie et d'imagerie 3D, associée à une table d'isolation intégrée et à un système de manipulation des plaquettes cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie ZDot™, qui recueille simultanément des données 3D haute résolution et une image True Color à focalisation infinie. Le Zeta-388 prend en charge les environnements de R&D et de production grâce à son optique multimode, son logiciel facile à utiliser, son faible coût de possession et ses communications SECS/GEM. Le profileur optique Zeta-388 est un système de mesure de topographie de surface 3D sans contact. Le Zeta-388 s'appuie sur les capacités du Zeta-300 avec l'ajout d'un manipulateur de cassette à cassette pour des mesures entièrement automatisées. Le système est alimenté par la technologie brevetée ZDot et l'optique Multi-Mode, permettant la mesure d'une variété d'échantillons : transparents et opaques, de faible à forte réflectance, de texture lisse à rugueuse, et de hauteurs de pas allant du nanomètre au millimètre. Le système de métrologie optique automatisé Zeta-388 intègre six technologies de métrologie optique différentes dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure ZDot recueille simultanément un balayage 3D haute résolution et une image True Color infinite focus. Les autres techniques de mesure 3D comprennent l'interférométrie en lumière blanche, la microscopie à contraste interférentiel Nomarski et l'interférométrie de cisaillement. L'épaisseur du film peut être mesurée avec le ZDot ou un réflectomètre à large bande intégré. Le Zeta-388 est également un microscope haut de gamme qui peut être utilisé pour l'examen d'échantillons ou l'inspection automatisée des défauts.