Profilomètre optique Zeta™-20

3Davec interférométrie en lumière blanchepour semi-conducteur

Le profileur optique du benchtop Zeta-20 est un de non contact, système de mesure de topographie de la surface 3D. Le système est actionné par technologie brevetée de ZDot™ et optique à plusieurs modes de fonctionnement, permettant la mesure d'un grand choix d'échantillons : transparent et opaque, bas à la réflectivité élevée, lissez à la texture approximative, et aux tailles d'étape des nanomètres aux millimètres. Le Zeta-20 intègre six technologies optiques différentes de métrologie dans un système configurable et facile à utiliser. Le mode de mesure de ZDot™ rassemble simultanément un balayage 3D à haute résolution et une image infinie de foyer de véritable couleur. D'autres techniques de mesure 3D incluent la microscopie de contraste d'interférométrie légère blanche, d'interférence de Nomarski, et l'interférométrie de cisaillement. L'épaisseur de film peut être mesurée avec ZDot ou un réflectomètre à bande large intégré. Le Zeta-20 est également un microscope à extrémité élevé qui peut être utilisé pour le critique témoin ou l'inspection automatisée de défaut. Le Zeta-20 soutient la R&D et les environnements de production en fournissant la taille d'étape, la rugosité, et les mesures complètes d'épaisseur de film, et déserte la capacité d'inspection. Applications Taille d'étape : taille de l'étape 3D des nanomètres aux millimètres Texture : rugosité 3D et caractère onduleux sur lisse sur les surfaces très approximatives Forme : arc 3D et forme Effort : 2D effort de la couche mince Épaisseur de film : épaisseur de film transparente de 30nm à 100µm Inspection de défaut : défauts de capture plus grands que 1µm Examen de défaut : Des dossiers de KLARF sont employés pour diriger aux défauts pour mesurer des emplacements de défaut de topographie ou de scribe de la surface 3D