Profilomètre 3D HRP®-260

à styletpour mesure de rugositépour mesure de planéité

Le HRP®-260 est un profileur de stylet cassette à cassette haute résolution. Le HRP offre des performances éprouvées en production avec une capacité de manipulation automatisée des plaquettes au service des semi-conducteurs, des semi-conducteurs composés, des LED haute luminosité, du stockage de données et des industries connexes. La configuration P-260 prend en charge les mesures 2D et 3D de la hauteur des marches, de la rugosité, de l'arc et des contraintes pour les numérisations jusqu'à 200 mm sans couture. La configuration HRP®-260 offre la même capacité que la P-260, en plus d'un étage haute résolution pour mesurer de petites caractéristiques à une résolution plus élevée et un débit plus rapide. Le HRP®-260 offre une capacité à deux étages pour la mesure de la topographie des nano- et micro-surfaces. La configuration P-260 offre une longue capacité de balayage (jusqu'à 200 mm) sans couture, et le HRP®-260 offre un étage de balayage haute résolution pour des longueurs de balayage jusqu'à 90 µm. Le P-260 atteint une excellente stabilité de mesure grâce à la combinaison du capteur UltraLite®, du contrôle de force constante et de l'étage de balayage ultra-plat. Le HRP®-260 améliore cette capacité grâce à un étage de balayage piézoélectrique haute résolution. La configuration de la recette est rapide et facile grâce à des contrôles de scène par pointer-cliquer, des optiques à faible et fort grossissement et des appareils photo numériques à haute résolution. Le HRP®-260 prend en charge les mesures 2D et 3D, avec une variété d'algorithmes de filtrage, de nivellement et d'analyse de données pour quantifier la topographie de la surface. Des mesures entièrement automatisées sont réalisées grâce à la manipulation automatisée des plaquettes, à la reconnaissance de formes, au séquençage et à la détection de caractéristiques.