Profilomètre 3D Tencor™ P-170

à styletpour mesure de rugositéindustriel

Le Tencor P-170 est un profileur cassette à cassette qui combine les performances de mesure du système de table P-17, leader dans l'industrie, et le manipulateur HRP®-260, qui a fait ses preuves dans la production. Cette combinaison fournit une solution à faible coût de propriété pour un système basé sur un manipulateur desservant les semi-conducteurs, les semi-conducteurs composés et les industries connexes. Le Tencor P-170 prend en charge les mesures 2D et 3D de la hauteur de marche, de la rugosité, de la courbure et de la contrainte pour des scans allant jusqu'à 200 mm sans piqûre. L'excellente stabilité des mesures est obtenue grâce à la combinaison du capteur UltraLite®, du contrôle de la force constante et d'une platine de balayage ultraplate. La configuration de la recette est rapide et facile grâce aux commandes de la platine par pointer-cliquer, à l'optique de vue supérieure et latérale et à la caméra haute résolution avec zoom optique. Le Tencor P-170 prend en charge les mesures 2D et 3D, avec une variété d'algorithmes de filtrage, de nivellement et d'analyse des données disponibles pour quantifier la topographie de la surface. Les mesures sont entièrement automatisées grâce à la manipulation automatique des plaquettes, à la reconnaissance des formes, au séquençage et à la détection des caractéristiques. - Hauteur de pas : Nanomètres à 1000µm - Faible force avec contrôle de la force constante : 0,03 à 50 mg - Balayage de tout le diamètre de l'échantillon sans piqûre - Vidéo : caméra couleur haute résolution de 5MP - Correction de l'arc : Supprime l'erreur due au mouvement en arc du stylet - Logiciel : Interface logicielle facile à utiliser - Capacité de production : Entièrement automatisée avec séquençage, reconnaissance des formes et SECS/GEM - Manipulateur de plaquettes : Chargement automatique d'échantillons opaques (par exemple, silicium) et transparents (par exemple, saphir) de 75 mm à 200 mm Applications - Hauteur de marche : hauteur de marche 2D et 3D - Texture : rugosité et ondulation en 2D et 3D