Le profileur de stylet de table Tencor P-7 s'appuie sur le succès du système de profilage de stylet de table Tencor P-17, leader sur le marché. Il intègre les performances de mesure supérieures de la technologie P-17 dans une plate-forme qui offre un excellent rapport prix/fonctionnalités pour un profileur à stylet de table. Le profileur à stylet Tencor P-7 prend en charge les mesures 2D et 3D des hauteurs de pas, de la rugosité, de la courbure et de la contrainte pour des scans allant jusqu'à 150 mm sans piqûre.
- Hauteur de pas : Nanomètres à 1000µm
- Faible force avec contrôle de la force constante : 0,03 à 50 mg
- Balayage de tout le diamètre de l'échantillon sans piqûre
- Vidéo : caméra couleur haute résolution de 5MP
- Correction de l'arc : Supprime l'erreur due au mouvement en arc du stylet
- Logiciel : Interface logicielle facile à utiliser
- Capacité de production : Entièrement automatisé avec séquençage, reconnaissance des formes et SECS/GEM
Applications
- Hauteur de marche : hauteur de marche 2D et 3D
- Texture : rugosité et ondulation en 2D et 3D
- Forme : arc et forme en 2D et 3D
- Contrainte : contrainte des couches minces en 2D et 3D
- Examen des défauts : topographie de la surface des défauts en 2D et 3D
---