Système d'inspection optique FlashScan®

automatiquepour détection de défautspour l'industrie de l'électronique

Systèmes d'inspection des défauts de l'ébauche de réticule Le système d'inspection des défauts de masque FlashScan® 211 aide les ateliers de fabrication de masques et les fabricants de flans à répondre aux exigences en matière de défauts de masque pour les applications de lithographie optique et EUV. Le système FlashScan 211 associe sa haute sensibilité à une vitesse d'inspection inégalée et à une disposition automatique des défauts, réduisant ainsi le temps nécessaire à l'obtention de résultats pour une large gamme d'applications. Applications Fabrication de couvertures de masque, qualification de couvertures de masque, contrôle du processus de réticulation, surveillance de l'équipement du processus de réticulation