Machine d'inspection optique Candela® 8420

de surfacede défautsautomatisée

Le Candela 8420 est un système d'inspection des défauts de surface qui utilise une détection multicanal et une classification des défauts basée sur des règles pour assurer la détection des particules et des rayures sur des tranches opaques, translucides et transparentes telles que l'arséniure de gallium (GaAs), le phosphure d'indium (InP), le tantalate de lithium, le niobate de lithium, le verre, le saphir et d'autres matériaux semi-conducteurs composés. Le système d'inspection des défauts de surface 8420 utilise une architecture OSA (analyseur optique de surface) propriétaire pour mesurer simultanément l'intensité de la diffusion, les variations topographiques, la réflectivité de la surface et le déphasage pour la détection automatique et la classification d'une large gamme de défauts d'intérêt (DOI). Le système d'inspection des défauts de surface Candela 8420 permet de couvrir la totalité de la surface en quelques minutes et de produire une imagerie haute résolution et un rapport d'inspection automatisé avec une classification des défauts et des cartes de la tranche de silicium. Le système d'inspection de plaquettes Candela 8420 permet d'analyser les surfaces, notamment de détecter les défauts de surface et les particules sur les plaquettes opaques, translucides et transparentes, y compris le verre, le saphir poli sur une face (SSP), le saphir poli sur deux faces (DSP), les lignes de glissement, les piqûres et bosses d'arséniure de gallium (GaAs) et de phosphure d'indium (InP), la cartographie de l'uniformité de surface de type brume, ainsi que les défauts sur le tantalate de lithium (LiTaO2), le niobate de lithium (LiNbO3) et d'autres matériaux avancés. Le système d'inspection de surface 8420 est utilisé pour le contrôle du processus des semi-conducteurs composés (nettoyage des plaquettes, pré- et post-épitaxie) à l'aide de l'inspection des défauts. Sa conception multicanaux avancée offre une sensibilité accrue par rapport aux technologies à canal unique.