Profilomètre optique Tencor™ P-17

3Dà styletpour l'analyse de couches minces

Le Tencor P-17 est un profileur à stylet de table de huitième génération, basé sur plus de 40 ans d'expérience en métrologie des surfaces. Ce système de pointe prend en charge la mesure de la hauteur de marche 2D et 3D, de la rugosité, de l'arrondi et de la contrainte pour des balayages allant jusqu'à 200 mm sans piqûre. L'excellente stabilité des mesures est obtenue grâce à la combinaison d'un capteur UltraLite®, d'une commande de force constante et d'une platine de balayage ultraplate. La configuration de la recette est rapide et facile grâce aux commandes de la platine par pointer-cliquer, à l'optique de vue supérieure et latérale et à la caméra haute résolution avec zoom optique. Le profilomètre à stylet Tencor P-17 prend en charge les mesures en 2D ou en 3D, avec une variété d'algorithmes de filtrage, de nivellement et d'analyse pour quantifier la topographie de la surface. Les mesures sont entièrement automatisées grâce à la reconnaissance des formes, au séquençage et à la détection des caractéristiques. - Hauteur de pas : Nanomètres à 1000µm - Faible force avec contrôle de la force constante : 0,03 à 50 mg - Balayage de tout le diamètre de l'échantillon sans piqûre - Vidéo : caméra couleur haute résolution de 5MP - Correction de l'arc : Supprime l'erreur due au mouvement en arc du stylet - Logiciel : Interface logicielle facile à utiliser - Capacité de production : Entièrement automatisé avec séquençage, reconnaissance des formes et SECS/GEM Applications - Hauteur de marche : hauteur de marche 2D et 3D - Texture : rugosité et ondulation en 2D et 3D - Forme : arc et forme en 2D et 3D - Contrainte : contrainte des couches minces en 2D et 3D - Examen des défauts : topographie de la surface des défauts en 2D et 3D