Systèmes de métrologie de recouvrement
Le système de métrologie de superposition Archer™ 750 fournit un retour d'information précis sur l'erreur de superposition sur le produit pour des rampes technologiques rapides et une production stable de mémoires et de dispositifs logiques de pointe. L'accordabilité de la longueur d'onde avec une résolution de 10 nm permet d'obtenir des mesures d'erreur de recouvrement précises et robustes en présence de variations du processus de production. Avec des niveaux de productivité habituellement réservés aux systèmes basés sur la diffusiométrie, le système de superposition Archer 750 basé sur l'imagerie permet d'augmenter l'échantillonnage pour les corrections de scanner d'ordre élevé et d'augmenter le débit pour le contrôle en ligne. Des algorithmes avancés et une nouvelle conception de cible de recouvrement rAIM® permettent d'améliorer la corrélation entre les erreurs de recouvrement de la cible et du dispositif, ce qui aide les lithographes à suivre avec précision les performances de recouvrement du dispositif.
Applications
Contrôle de la superposition sur le produit, surveillance en ligne, qualification du scanner, contrôle du modelage
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