Système de mesure de température SensArray®

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Ensemble d'automatisation de la mesure de température in situ Le pack SensArray® Automation permet une collecte rapide et automatisée des mesures de température de la chambre de l'outil de traitement. L'ensemble comprend un FOUP compatible avec les rails aériens (OHT), une station d'automatisation, un contrôleur d'automatisation du système et des composants de siège logiciel pour PC de bureau. Les FOUPs SensArray peuvent être traités de la même manière que n'importe quel FOUP de production, avec un portage direct des données sur les graphiques SPC. SensArray Automation permet d'améliorer la productivité grâce à des gains de disponibilité des outils de traitement, une utilisation plus efficace des ressources d'ingénierie et un stockage centralisé des données dans la base de données MES de la fab Applications Développement de procédés, Qualification de procédés, Surveillance d'outils de procédés, Qualification d'outils de procédés, Adaptation de chambres, Adaptation d'outils de procédés