Machine d'inspection optique Puma™ series

pour wafer gravépour l'industrie électroniquede défauts

Systèmes d'inspection des défauts de plaquettes à motifs par balayage laser Le système d'inspection par balayage laser Puma™ 9980 intègre de multiples améliorations en termes de sensibilité et de vitesse qui permettent de capturer des défauts d'intérêt critiques (DOI) aux débits requis pour la fabrication en grand volume de dispositifs logiques avancés 1Xnm et de dispositifs de mémoire DRAM et NAND 3D avancés. Le Puma 9980, qui fait partie d'un portefeuille d'outils avancés d'inspection et d'examen des défauts des wafers, offre la solution la plus performante pour le contrôle des rampes de production en améliorant la capture des types de défauts sur les couches de structuration avancées. Le Puma 9980 intègre la capacité NanoPoint™ design-aware, qui produit des résultats d'inspection plus exploitables grâce à une sensibilité accrue aux défauts, un meilleur binning systématique des nuisances et une précision renforcée des coordonnées des défauts. Moniteur de ligne, Moniteur d'outil, Qualification d'outil