Equipement de pulvérisation verticale de grande surface
・Efficacité de la formation de film
300mm×100mm
・Configuration de l'équipement
Chambre de pulvérisation verticale à cathode RAM
・Matériau du film
TCO (ITO etc.) / Métaux (Cu etc.) / Oxydes métalliques (NiO etc.) / C (DLC) / Autres
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