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Robot articulé NTS series 4 axes5 axesde manutention
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Caractéristiques
- Type
- articulé
- Nombre d'axes
- 4 axes, 5 axes
- Fonction
- de manutention
- Domaine d'application
- pour salle blanche
- Charge maximale
0,7 kg
(1,543 lb)- Rayon d'action
1 066 mm
(41,97 in)- Répétabilité
0,1 mm
(0,0039 in)
Description
Le robot de la série NTS peut accéder aux 2 et 3 FOUP de l'EFEM sans rail. Le système d'entraînement spécialement conçu permet au robot de se déplacer de manière incroyablement souple et avec une grande précision.
La série est conforme à la norme SEMI-F47 et à la norme SEMI-S2.
Applications
Manipulation de plaquettes de silicium
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Catalogues
Clean Robot NTS, TTS series
2 Pages
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.