Système de préparation d'échantillons automatique IB-10500HMS

pour le laboratoirepour SEMfraisage par faisceaux d'ions

Caractéristiques Fraisage à haut débit ＊1 Taux de broyage élevé de la section transversale grâce à la nouvelle source d'ions : 1,2 mm/h ou plus＊2 (2,4 fois la vitesse de broyage précédente) Le système de broyage à haut débit optimise les électrodes de la source d'ions et permet des tensions d'accélération plus élevées, améliorant ainsi la densité de courant du faisceau d'ions. Notre nouvelle source d'ions permet d'atteindre un taux de broyage élevé de la section transversale de 1,2 mm/h ou plus (2,4 fois plus que le taux de broyage précédent) Taux de broyage de la section transversale de la nouvelle source d'ions Échantillon : Plaquette de silicium Tension d'accélération : 10kV Durée de broyage : 1h Fraisage de la section transversale d'un alliage à bas point de fusion (refroidissement) Tension d'accélération : 10 kV Durée du fraisage : 30 min L'image MEB de droite montre un alliage Sn-Bi dont le point de fusion est de 150°C. Un métal à bas point de fusion peut être fondu sous l'effet de la chaleur de traitement ; il est donc nécessaire de refroidir le métal avant de le fraiser. Le fraisage à haut débit est appliqué à l'échantillon sensible à la chaleur tandis que l'échantillon est maintenu refroidi ＊3. On obtient ainsi en peu de temps un échantillon de section transversale présentant un endommagement thermique réduit. Fraisage de grandes surfaces ＊1,＊4 Fraisage de surfaces planes sur de grandes surfaces Le nouveau système de fraisage à haut débit a permis l'irradiation d'un faisceau d'ions sur une plus grande surface de l'échantillon. Le fraisage de surface planaire est efficace pour éliminer les rayures générées sur la surface de l'échantillon ou les déformations cristallines causées par le polissage mécanique. Fraisage de la surface planaire d'un échantillon de béton Tension d'accélération : 10 kV Durée du fraisage : 20 min Un béton d'une largeur de 20 mm a fait l'objet d'un fraisage de surface planaire sur une grande surface.