Système de lithographie laser JBX-9500FS

Le JBX-9500FS est un système EB à 100 kV qui offre un débit et une précision de positionnement de niveau mondial parmi les systèmes de lithographie à faisceau ponctuel. Ce système EB peut accueillir des plaquettes de 300 mm et des masques de 6 pouces, ce qui permet de répondre aux besoins de R&D et de production dans divers domaines, tels que la nanoimpression, les dispositifs photoniques et les dispositifs de communication. Caractéristiques Outre la vitesse de balayage maximale de 100 MHz, le JBX-9500FS atteint une précision de recouvrement de ±11 nm, une précision d'assemblage de champ de ±10 nm et une précision de positionnement dans le champ de ±9 nm lorsque la taille du champ est de 1000µm×1000µm. Le JBX-9500FS est donc un système EB à 100 kV qui offre un débit et une précision de positionnement de niveau mondial parmi les systèmes de lithographie à faisceau ponctuel. Comme le JBX-9500FS utilise un DAC de positionnement de faisceau de 20 bits et un DAC de balayage de 14 bits, un pas de balayage à plus haute résolution de 0,25 nm est obtenu pour un incrément de données d'écriture de 1 nm, ce qui permet de reproduire des données d'écriture plus précises. Sa vitesse de balayage élevée (jusqu'à 100 MHz) permet au JBX-9500FS de maintenir des pas de balayage courts lors d'une écriture à grand courant, ce qui améliore le débit même lorsque l'écriture de motifs de haute précision est requise. Une précision de positionnement de premier ordre est obtenue grâce au LBC (contrôle du faisceau laser) qui fournit une haute résolution, un pas de positionnement minimum du faisceau de 0,15 nm (λ/4096). En outre, une fonction unique d'auto-étalonnage (fonction de correction automatique) développée par JEOL permet d'obtenir une écriture de modèle très fiable et stable pendant une longue période. La temporisation de la correction automatique peut être réglée pour chaque champ ou chaque motif. Cette fonction est très efficace pour une longue période d'écriture sans opérateur, par exemple pendant les week-ends ou les vacances consécutives.