Le même porte-échantillon peut désormais être utilisé pour le microscope optique et le microscope électronique à balayage. Par conséquent, en gérant les informations de la platine à l'aide d'un logiciel spécialisé, le système peut enregistrer les emplacements observés au microscope optique, puis agrandir les mêmes zones au microscope électronique à balayage afin d'observer les structures fines à un plus fort grossissement et à une plus haute résolution. Il est désormais possible de comparer et de vérifier facilement les images du microscope optique et celles du microscope électronique à balayage.
Caractéristiques
Acquisition de données et observation intuitive grâce à l'utilisation de la couleur
En ajoutant des informations sur la couleur de la lumière visible de l'image du microscope optique (qui ne peuvent pas être obtenues avec l'image du MEB), on obtient une image du MEB avec un effet visuel plus intuitif.
La recherche de cibles en douceur tire parti des caractéristiques du microscope optique
L'observation au microscope optique permet de trouver facilement les structures cibles, qui sont difficiles à distinguer sur les images SEM.
Évite que le faisceau d'électrons n'endommage l'échantillon
Pour éviter que le faisceau d'électrons n'endommage ou ne contamine l'échantillon, la zone d'intérêt est d'abord repérée à l'aide du microscope optique. Cela permet d'observer le MEB avec une dose de radiation minimale sur le site d'observation.
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