Génère un plasma thermique à environ 10000 degrés par induction à haute fréquence à travers un processus de réaction physique/chimique, permettant la synthèse de nanoparticules et de films épais (formation de films)
Caractéristiques
Principes・Caractéristiques
Le plasma thermique à radiofréquence fonctionne à la pression atmosphérique ou dans un environnement à basse pression proche de la pression atmosphérique, en concentrant la puissance à haute fréquence à un endroit spécifique pour générer spontanément un plasma d'environ 10 000 degrés à partir de divers gaz par induction électromagnétique.
Ce plasma thermique est une zone de la décharge d'arc. En introduisant des matériaux (poudres, gaz, fluides) dans le plasma, il est possible d'induire une vaporisation, une fusion, une dissociation et des réactions chimiques pour des applications telles que la synthèse de nanoparticules, la sphérodisation et la réaction des poudres, la formation de films et la dissociation de gaz nocifs.
Par rapport à la décharge d'arc à courant continu, il est possible d'obtenir un volume de plasma plus important
Le débit de gaz est également meilleur que celui du plasma à courant continu. Le débit étant plus lent d'un ordre de grandeur, il est possible de chauffer convenablement les matériaux pour induire les réactions souhaitées.
Comme il n'y a pas d'électrodes, il n'y a pas de contamination par les matériaux des électrodes, ce qui permet un traitement de haute pureté.
Une large gamme de gaz peut être utilisée, y compris des gaz oxydants, réducteurs et corrosifs
Des particules fines peuvent être créées, avec une finesse de l'ordre du nanomètre, un niveau qui dépasse la capacité de pulvérisation mécanique
La possibilité d'utiliser les réactions d'espèces chimiques à haute énergie, telles que les atomes, les ions, les molécules excitées et les radicaux, ouvre la voie à la création de nouvelles substances et de nouveaux matériaux.
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