Capteur pour un contrôleur d'épaisseur de film à oscillateur à cristal incorporant 6 ou 12 cristaux
Caractéristiques
Utilisé pour mesurer l'épaisseur du film et le taux de génération du film pendant le traitement des films minces.
En cas de défaillance d'un cristal, le capteur peut être utilisé tel quel en passant au cristal suivant.
L'ouverture du détecteur étant à une position fixe, il n'est pas nécessaire de modifier le facteur d'outillage pour chaque changement de cristal.
Il existe deux types de têtes de capteur : plates et à 45°. Elles peuvent être utilisées de manière sélective en fonction de la position de montage.
Convient aux processus de dépôt sous vide ou de pulvérisation à long terme et à haut volume.
---