L'illumination de la pupille multipolaire est nécessaire pour obtenir une résolution maximale dans les systèmes de projection de masques. Les éléments optiques diffractifs (DOE) de Jenoptik produisent efficacement de telles distributions avec une grande précision et une grande uniformité à l'intérieur et entre les différents pôles.
Nous utilisons des matériaux de haute qualité pour tous nos éléments diffractifs. Cela garantit une longue durée de vie, même en cas d'irradiation intensive par laser UV.
---