Axe linéaire à moteur linéaire

à servomoteurde précision

L'axe de précision est un faisceau de granit avec un axe de précision très précis. Le système complet comprend un servocontrôleur pour différents bus de terrain (EtherCAT, Profinet, CAN, ..). Cet axe est destiné à des applications de haute précision telles que l'inspection de plaquettes, le scanner, la mesure adaptée. - Poutre en granit avec un axe très précis - Système complet comprenant un servo-contrôleur pour différents bus de terrain (EtherCAT, Profinet, CAN, ..) - Pour les applications de haute précision (inspection de plaquettes, balayage, mesure) Exigences - Montage en pleine surface sur le châssis de la machine - Y compris la chaîne énergétique et le jeu de câbles assemblés - Livraison sous forme de système d'axes entièrement assemblé et mis en service - Précisions garanties à une température constante de ±2K Mise en œuvre - Développé pour répondre aux besoins spécifiques des clients - Moteur linéaire sans fer avec guidage de précision sur rail Vitesse : max 500 mm/s Accélération : max. 1 m/s² Reproductibilité : 0,5 µm Précision de positionnement : 5 µm Résolution de positionnement : 0,1 µm Répétabilité (côté) : 5 µm Répétabilité (hauteur) : 1 µm Charge : max. 1 kg