Vue d'ensemble
Axe de moteur linéaire avec principe d'aimant mobile (l'unité de bobine avec la tête de mesure est fixe et la piste magnétique déplace le chariot avec un système de mesure)
Pour le positionnement de l'optique
Exigences
Utilisation en salle blanche classe ISO 100 - pas d'abrasion ni d'usure des câbles
Utilisation dans le cadre d'un fonctionnement en 3 équipes, 7 jours/semaine
Très grande précision mécanique
Stabilité de la température : 22°C ±2°
Mise en œuvre
Un roulement à billes linéaire commun pour toutes les glissières
Matériau de la plaque de base choisi en fonction du coefficient de dilatation thermique du guide
Construction et entraînements décalés l'un par rapport à l'autre - pour optimiser la longueur totale
Spécification
Accélération : max. 3.000 mm/s
Vitesse : 400 mm/s
Erreur de hauteur par diapositive : ≤1 µm
Erreur latérale par lame : ≤1 µm
Erreur de hauteur maximale des diapositives les unes par rapport aux autres : 100 µm
Erreur maximale de roulis, erreur de lacet, erreur de lévitation : ≤±100 µrad
AVC : 50 mm (plus possible)
Système de mesure de la résolution : 0,05 µm (50 nm)
Reproductibilité dans le sens du mouvement : <0,5 µm
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