Ellipsomètre spectroscopique VASE series

Le VASE® est un ellipsomètre précis et polyvalent pour la recherche sur tous les types de matériaux : semi-conducteurs, diélectriques, polymères, métaux, multicouches, etc. Il combine une grande exactitude et précision avec une large gamme spectrale - jusqu'à 193 à 3200nm. La longueur d'onde et l'angle d'incidence variables offrent des possibilités de mesure flexibles, notamment : - Ellipsométrie par réflexion et transmission - Ellipsométrie généralisée (Anisotropie, Retardance, Biréfringence) - Intensité de réflectance (R) et de transmittance (T) - R/T à polarisation croisée - Dépolarisation - Scatterométrie - Matrice de Mueller Précision maximale des données Le VASE est équipé d'un ellipsomètre à analyse rotative (RAE) combiné à notre système breveté AutoRetarder® pour une précision inégalée des données. Sélection de longueurs d'onde de haute précision Le monochromateur à balayage est conçu spécifiquement pour l'ellipsométrie spectroscopique. Il optimise la vitesse, la précision des longueurs d'onde et le débit de lumière, tout en contrôlant automatiquement la sélection des longueurs d'onde et la résolution spectrale. Mesures flexibles Le VASE est doté d'un support d'échantillon vertical qui permet d'adapter une grande variété de géométries de mesure, notamment la réflexion, la transmission et la diffusion. Technologie AutoRetarder Les ellipsomètres à analyseur rotatif (RAE) maximisent la précision des données à proximité de la condition "Brewster" - où les données Ψ/Δ sont riches en contenu. Cependant, cette région peut être limitante pour les échantillons à signal réduit. L'AutoRetarder breveté est une plaque d'onde contrôlée par ordinateur qui modifie la polarisation du faisceau lumineux avant qu'il n'atteigne l'échantillon. On obtient ainsi des conditions de mesure optimales pour n'importe quel échantillon - dans n'importe quelles conditions. L'AutoRetarder mesure avec précision : - Ψ et Δ sur toute la gamme !