Ellipsomètre spectroscopique theta-SE

Le theta-SE est un ellipsomètre spectroscopique à bouton-poussoir pour la caractérisation de l'uniformité des couches minces. Il présente une instrumentation d'ellipsométrie avancée dans un boîtier compact à un prix abordable. Entièrement intégré Le theta-SE est équipé d'une cartographie d'échantillon de 300 mm, d'un faisceau de mesure à petites taches, d'un alignement rapide de l'échantillon, d'une caméra à visée descendante et de notre dernière technologie d'ellipsomètre à double rotation. Le theta-SE a tout ce dont vous avez besoin pour mesurer l'uniformité spatiale de l'épaisseur de votre film et de ses propriétés optiques. Vitesse élevée Le débit d'échantillons est optimisé par l'utilisation d'une translation rapide point à point, d'un alignement rapide des échantillons et de la technologie d'ellipsomètre à double rotation pour une collecte continue des données. Compact La platine brevetée à double rotation Thêta permet une cartographie complète de 300 mm dans un petit instrument de table. L'empreinte de l'instrument est à peine plus grande qu'une plaquette de 300 mm. Convivialité L'analyse automatisée des données et les rapports intégrés permettent d'utiliser un bouton poussoir et d'accéder rapidement aux résultats des mesures. Abordable Le theta-SE offre la puissance de l'ellipsométrie spectroscopique et la cartographie d'uniformité de 300 mm à un prix raisonnable.