Ellipsomètre spectroscopique VUV-VASE series

L'ellipsomètre spectroscopique à angle variable VUV-VASE® est l'étalon-or pour la caractérisation optique des films minces de lithographie. Il mesure des longueurs d'onde allant de l'ultraviolet du vide (VUV) au proche infrarouge (NIR). Il offre une incroyable polyvalence pour caractériser de nombreux matériaux : semi-conducteurs, diélectriques, polymères, métaux, multicouches et liquides tels que les fluides d'immersion. Large gamme spectrale Le VUV-VASE couvre des longueurs d'onde allant de moins de 140nm à 1700nm. Haute précision Grâce à notre AutoRetarder® breveté, le VUV-VASE garantit la précision de toute mesure d'échantillon. Chargement pratique des échantillons Une conception spéciale permet un chargement rapide et efficace des échantillons sans contaminer la purge du système. Protégez vos échantillons Le monochromateur est placé avant l'échantillon pour limiter l'exposition des matériaux photosensibles.