L'IR-VASE® est le premier et le seul ellipsomètre spectroscopique à combiner la sensibilité chimique de la spectroscopie FTIR avec la sensibilité des couches minces de l'ellipsométrie spectroscopique. L'IR-VASE couvre la large gamme spectrale de 1,7 à 30 microns (333 à 5900 wavenumbers). Il est utilisé pour caractériser à la fois les films minces et les matériaux en vrac dans la recherche et l'industrie. Cette technologie en plein essor trouve des applications dans les revêtements optiques, les semi-conducteurs, les industries biologiques et chimiques, ainsi que dans les laboratoires de recherche.
Large gamme spectrale
Couvre l'infrarouge proche à lointain.
1.De 7 à 30 microns
(333 à 5900 wavenumbers)
Résolution de 1cm-1 à 64cm-1
Haute sensibilité aux films ultra-minces
Les données de l'ellipsométrie spectroscopique contiennent à la fois des informations de "phase" et d'"amplitude" de la lumière réfléchie ou transmise. L'information de phase de l'ellipsométrie IR offre une plus grande sensibilité aux films ultra-minces que la réflexion/absorbance FTIR, tout en conservant la sensibilité à la composition chimique.
Caractérisation non-destructive
IR-VASE permet de mesurer sans contact et de manière non destructive de nombreuses propriétés de matériaux différents. Les mesures ne nécessitent pas de vide et peuvent être utilisées pour étudier les interfaces liquide/solide, courantes dans les applications de biologie et de chimie.
Pas besoin de ligne de base ou d'échantillon de référence
L'ellipsométrie est une technique auto-référentielle qui ne nécessite pas d'échantillons de référence pour maintenir la précision. Des échantillons plus petits que le diamètre du faisceau peuvent être mesurés car il n'est pas nécessaire de recueillir la totalité du faisceau.
Mesures de haute précision
Les procédures brevetées d'étalonnage et d'acquisition de données, fournissent des mesures précises de Ψ et Δ sur toute la gamme de l'instrument.
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