Ellipsomètre spectroscopique M-2000 series

La gamme d'ellipsomètres spectroscopiques M-2000® a été conçue pour répondre aux diverses exigences de la caractérisation des films minces. Une conception optique avancée, une large gamme spectrale et une acquisition de données rapide se combinent dans un outil extrêmement puissant et polyvalent. Le M-2000 offre à la fois vitesse et précision. Notre technologie brevetée RCE combine l'Ellipsométrie à Compensateur Rotatif avec une détection CCD à haute vitesse pour collecter le spectre entier (des centaines de longueurs d'onde) en une fraction de seconde avec un large éventail de configurations. Le M-2000 est le premier ellipsomètre qui excelle dans tous les domaines, de la surveillance in-situ et du contrôle des processus à la cartographie de l'uniformité sur de grandes surfaces et à la caractérisation générale des films minces. Aucune autre technologie d'ellipsomètre ne permet d'acquérir un spectre complet plus rapidement. Technologie avancée d'ellipsomètre Le M-2000 utilise notre technologie brevetée RCE (rotating compensator ellipsometer) pour obtenir une précision et une exactitude élevées. Détection spectrale rapide La conception du RCE est compatible avec la détection CCD avancée et éprouvée pour mesurer TOUTES les longueurs d'onde simultanément. Large gamme spectrale Collectez plus de 700 longueurs d'onde, de l'ultraviolet au proche infrarouge, et ce simultanément. Intégration flexible du système Grâce à sa conception optique modulaire, le M-2000 peut être fixé directement à votre chambre de traitement ou configuré sur l'une de nos bases de table. Précision La conception avancée assure des mesures ellipsométriques précises pour tout échantillon.