Faible pulsation
La position du soufflet est constamment surveillée par les capteurs de déplacement laser et les détecteurs de proximité. La pompe elle-même réduit les pulsations sans aucun équipement supplémentaire car le contrôleur détermine la quantité appropriée de déphasage nécessaire pour déplacer le soufflet vers la gauche et la droite via une vanne électromagnétique.
Réduction des capteurs
Les capteurs externes ne sont pas nécessaires puisque le contrôle de la phase du soufflet par la pompe dépend entièrement des signaux émis par les capteurs laser et de proximité inclus dans la conception.
Pression élevée
Le mouvement optimal du soufflet augmente la capacité de pression soutenue, ce qui permet de maintenir une capacité de décharge et une pression stables en cas de changements de charge fréquents, en particulier dans le traitement de plaquettes individuelles.
Conception sûre
Une structure à soufflets soudés empêche toute fuite de liquide. Même si le soufflet est endommagé, les capteurs de fuite intégrés le détectent et fournissent un retour d'information pour garantir un fonctionnement sûr.
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