Amélioration de l'efficacité du nettoyage
L'efficacité du nettoyage, telle que l'élimination des particules et de la contamination métallique sur les plaquettes, est améliorée lorsque le débit de circulation est augmenté. Les temps de nettoyage résultant de l'augmentation du nombre de lignes de traitement seront également réduits en raison de l'augmentation du débit de circulation.
Sans contamination
En plus de l'utilisation de bouts humides en plastique fluoré (PTFE et PFA), un revêtement en fluor sur les surfaces extérieures de la pompe offre la meilleure résistance aux vapeurs des produits chimiques acides, alcalins et peroxyde d'hydrogène utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs.
Surface d'installation réduite
En plus de l'utilisation de bouts humides en plastique fluoré (PTFE et PFA), un revêtement de fluor sur les surfaces extérieures de la pompe offre la meilleure résistance aux vapeurs des produits chimiques acides, alcalins et de peroxyde d'hydrogène utilisés dans la fabrication des semi-conducteurs
Gain de poids
L'optimisation de la conception a permis de réduire le poids d'environ 15 % de nos modèles 80-100L existants, ce qui facilite l'installation et le remplacement.
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