Distributeur motorisé SB

verticalhorizontalcompact

Distributeur à entraînement pneumatique - Convient parfaitement au processus de fabrication de semi-conducteurs pour les applications de photorésist. Caractéristiques de la série SB Haute précision Les doseurs de la série SB mesurent et distribuent avec précision les fluides chimiques tels que la résine photosensible. Le volume par injection est très précis pour garantir l'application de la quantité optimale de résine photosensible. L'utilisation d'un dispositif d'aspiration optionnel empêche l'égouttement de la buse d'injection. Il n'y a pratiquement pas de volume mort dans le soufflet, ce qui minimise la possibilité de stagnation de la solution. La conception sans joint et ultra lente du cylindre permet un dosage de la résine à faible vitesse avec moins de risque d'emprisonnement d'air. Extrémités humides en inox/fluor Des embouts en acier inoxydable (SUS304) et en fluor (PTFE/PFA) sont disponibles pour différents liquides et assurent une bonne résistance à la corrosion et une distribution sans contamination. Ils sont particulièrement adaptés à la distribution de résine photosensible haute résolution/pureté. Conception légère et compacte La pompe peut être montée à la fois dans le sens vertical et horizontal (sauf SB-4K/-5/-6), ce qui permet la meilleure configuration du système. Elle est suffisamment compacte pour être installée dans un espace limité. De plus, un bouchon mécanique qui règle avec précision le volume de dosage et un détecteur de position qui assure un mouvement correct du piston dans le cylindre sont disponibles en option.