Conception sans contamination
Toutes les pièces d'extrémité des liquides sont fabriquées en résine fluorée qui offre la meilleure résistance à la chaleur et aux produits chimiques agressifs. Les liquides extrêmement corrosifs sont transférés en toute sécurité sans émission de particules.
Système d'entraînement du capteur
En utilisant des détecteurs de proximité internes, le système d'entraînement du capteur ouvre/ferme le solénoïde. Un fonctionnement fiable et une stabilité même en cas de faible vitesse de course sont garantis.
Pour le traitement des plaquettes individuelles, nous proposons avec le FA-2E un modèle latéral pour les faibles débits, équipé d'un système de pulvérisation. Avec le FA-40VEW, un modèle vertical pour les débits élevés, des plaquettes jusqu'à 200 / 300 mm peuvent être nettoyées.
Les soufflets épais en forme de H (FA-40VEW) offrent une excellente résistance aux pressions élevées et garantissent une longue durée de vie pour un fonctionnement continu. En cas d'utilisation d'un pilote de pompe spécial, le débit peut être facilement contrôlé et surveillé.
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