Système de positionnement à grande ouverture XY-OF-S300x300-A300x300J

XYlinéairepour l'inspection de Wafer et métrologie

Les platines XY à cadre ouvert sont conçues avec un profil bas pour une large gamme de positionnement automatisé et précis dans les applications basées sur le microscope. Le mécanisme d'entraînement est situé sur le côté de l'unité et offre une ouverture claire et dégagée sur deux axes pour permettre à la lumière ou aux objets de passer à travers le centre de déplacement. CADRE OUVERT 300x300 mm L'APERTURE RESTE INOBSTRUCTE SUR TOUTE LA COURSE DE L'ETAGE XY Modèle - Unité - XY-OF-S300x300-A300x300J Course XY - mm - 300x300 Passage de la vis - 4 mm - Ouverture - mm - 300x300 non obstruée sur toute la plage de déplacement Plateau - mm - 400x400 Hauteur - mm 140 Jeu - micron - 5 Résolution (translation) - micron - 1 Moteur NEMA17 - - - pas à pas, pas à pas/encodeur, servo/encodeur Répétabilité - micron - 5 Capacité de charge - kg - 30 Poids de la table - kg - 45 Vitesse max - mm/sec 80 avec servomoteur 40 avec moteur pas à pas